1m³ 공기의 입자수량별 ISO 등급
ISO 14644-1에 따른 클린룸 청정도 등급은 반도체, 바이오, 제약 등 다양한 산업의 청정 환경 관리 기준으로 활용됩니다.
| ISO 등급 | 0.1 μm | 0.2 μm | 0.3 μm | 0.5 μm | 1 μm | μm |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ISO Class 1 | 10 이하 | 2 | ||||
| ISO Class 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| ISO Class 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| ISO Class 4 | 10,000 | 2,730 | 1,020 | 352 | 83 | |
| ISO Class 5 | 1,00,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
| ISO Class 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
| ISO Class 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
| ISO Class 8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | |||
| ISO Class 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
파티클카운터 유량별 측정시간
등급판단의 기준은 1m³ 부피에 대한 공기이지만 실제 측정시에는 ISO 14644-1에 명시된 아래 수식에 따라 공기량을 측정해도 됩니다.
Vₛ = (20 / Cₙ, ₘ) × 1000
Vₛ 는 측정을 위한 최소유량 (L | 리터)를 의미하며, Cₙ, ₘ 은 등급(클래스)별 입자량(허용량) 입니다.
ISO 14644-1 위의 표에 0.5μm에 대한 클래스 5 입자량은 3520개 이므로 위 공식에 따라 측정을 위해 필요한 유량( Vs )은 5.68리터입니다.
아래 표의 예시(Metone 파티클 카운터) 표에서 ISO등급 유지를 위해 기기별 측정시간을 참고할 수 있습니다.
| 측정기(예시) | 타입 | 측정기
유량(LPM) |
분당 흡입량
입방피트 (CFM) |
0.1 입방피트 채취 소요시간 | 1 입방피트 채취 소요시간 | 1m³ 채취 소요시간 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| METONE HHPC+ | 휴대용(소형) | 2.83 L/1분 | 0.1 | 1분 | 10분 | not practical |
| METONE 3415 | 이동식 | 28.3 L | 1 | 6초 | 1초 | 35분 |
| METONE 3415 | 이동식 | 50 L | 1.77 | not practical | 34초 | 20분 |
| METONE 3415 | 이동식 | 100 L | 3.53 | not practical | 17초 | 10붕 |
클린룸 관리를 위한 산업별 파티클 측정 예시
| 산업 | 대표 공정/구역 | 통상적 목표 ISO 등급 | 측정 입자 수 | 통상적 측정 주기 | 중요도 |
|---|---|---|---|---|---|
| 반도체 | 포토/증착/클린 베이 | ISO 3–5 (핵심공정은 더 높은 등급) | 개/m³(ISO 14644) | 핵심 베이는 상시/자주, 구역별 일/주 단위 점검 + 연 1회 이상 등급측정 | 최상 (수율/결함 직결) |
| 전자부품/정밀조립(일반) | 카메라/센서/정밀조립, 청정 포장 | ISO 6–8(공정 민감도별) | 개/m³ | 일/주 단위 휴대형 점검 + 연 1회 이상 등급측정 | 중상 (불량/클레임) |
| 의약품/바이오 무균제조(aseptic) | 충전/마개/노출공정(핵심), 배경룸 | ISO 5–7 | 개/m³ | Grade A(ISO 5 수준)는 공정 전시간/연속 모니터링 요구(의약 무균) | 최상 (환자안전/규제) |
| 병원 무균조제(USP 797/800 등) | PEC(무균 작업대), 버퍼룸, 안테룸 | ISO 5–8 | 개/m³ | 조제 운영 중 상시/자주 + 정기 등급/인증 | 최상 (환자안전) |
| 의료기기 제조/포장 | 민감 조립, 포장 | ISO 7 –8 | 개/m³ | 교대/일 단위 모니터링 + 연 1회 이상 등급 | 상 (위해성/불량) |
| 항공우주/위성 조립 | 위성/탑재체 조립 | ISO 7–8 | 개/m³ | 중요 공정 집중 측정, 작업 전후 비교 + 정기 등급 | 최상 (미션 리스크) |
| 광학/레이저/코팅 | 렌즈/코팅/광학 | ISO 5–7 | 개/m³ | 일/주 단위 + 민감공정은 자주 | 상 (성능 열화) |
| IVF/배아배양실 | 배아 조작/배양 구역 | ISO 7 | 개/m³ | 배양/조작 자주 | 최상 (임상결과) |
| 식품·음료(고위생/무균충전·포장) | 고위생 충전/포장, 검사 | ISO 7–8 | 개/m³ | 생산일 주기 점검 + 이슈 발생 시 집중 | 중상 (품질/리콜) |
| 화장품/퍼스널케어 | 충전/캡핑/분말 | ISO 7–8 | 개/m³ | 배치/교대 단위 점검 + 상황별 (품질시스템 기준) | 중(품질/클레임) |
