반도체 공장/석유화학 공장 등에서 반도체 소재가스/유해가스를 측정하기 위한 목적에 특화된 측정기 입니다. 관련 분야의 특수가스들을 측정하기 위한 센서 적용이 가능합니다.
센서를 모듈식으로 착탈 할 수 있기에 단일 기기로 직접 측정가스를 교체하며 사용하실 수 있습니다.
또한 측정기의 검교정 없이, 센서모듈 교체만으로 올바른 측정값을 확보할 수 있어요.
측정대상 가스에 맞는 센서를 적용하여 측정합니다.
| NH3 암모니아 | 100μmol/mol |
| SiH4 실란 | 25μmol/mol |
| SiH2Cl2 디클로로실란 | 25μmol/mol |
| AsH3 아르신 | 250nmol/mol |
| PH3 포스핀 | 1μmol/mol |
| B2H6 다이보레인(디보란) | 500nmol/mol |
| H2Se 셀레나이드수소 | 250nmol/mol |
| GeH4 저메인 | 1μmol/mol |
| Cl2 염소 | 5μmol/mol |
| ClF3 삼불화염소 | 1μmol/mol |
| HCl 염화수소 | 25μmol/mol |
| HF 불화수소 | 10μmol/mol |
| HBr 브롬화수소 | 10μmol/mol |
| NO 일산화질소 | 100μmol/mol |
| H2S 황화수소 | 50μmol/mol |
| CO 일산화탄소 | 250μmol/mol |
| Si2H6 디실란 | 25μmol/mol |
| F2 불소 | 5μmol/mol |
| O3 오존 | 1μmol/mol |
| SO2 이산화황 | 10μmol/mol |
| NO2 이산화질소 | 10μmol/mol |
| NF3 삼불화질소 | 100μmol/mol |
문의 : 010 - 2476 - 5793
| 모델 | XPS-7Ⅱ |
| 검출대상가스 | 반도체 재료 가스 |
| 검출 원리 | 일정 전위 전기분해 |
| 검출 방법 | 펌프 흡입형 |
| 감지 범위 | 사양에 따라 |
| 응답시간 | 60초 이내(60% 응답) |
| 농도 표시 모드 | LCD 디지털 디스플레이 |
| 작동 온도 범위 | 0℃~40℃ |
| 전원 공급 장치 | AA 알카라인 건전지 4개 또는 전용 AC 어댑터(옵션) |
| 연속 사용 시간 ※3 | 12시간 이상 연속 사용(알카라인 건전지 사용, 알람 없음, 20°C) |
| 크기 | W62xH150xD128mm (돌출부 제외) |
| 무게 | 약 1.3kg (배터리 제외) |
| 표준 액세서리 | 어깨끈, AA 알카라인 배터리 4개, 필터 2개 |
| 추가옵션션 | 전용 AC 어댑터(AC100~240V/DC6V)
센서별 통신 스테이션 데이터 로깅 및 수집 키트 |
